Growth and characterization of amorphous TiAlSiN and HfAlSiN thin films

Författare
Linköpings universitet Hanna Fager
(Hanna Fager., Lic.-avh. Linköping : Linköpings universitet, 2012)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Linköping University, LiU-tr. 2012 Sverige, Linköping, Linköping xi, 83 sidor. 978-91-7519-843-9